- излучение для экспонирования резиста
- imaging radiation
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
излучение для экспонирования резиста — rezisto eksponavimo spinduliuotė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist exposing radiation vok. Resistbelichtungsstrahlung, f rus. излучение для экспонирования резиста, n pranc. radiation pour l exposition de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
Resistbelichtungsstrahlung — rezisto eksponavimo spinduliuotė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist exposing radiation vok. Resistbelichtungsstrahlung, f rus. излучение для экспонирования резиста, n pranc. radiation pour l exposition de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
radiation pour l'exposition de résist — rezisto eksponavimo spinduliuotė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist exposing radiation vok. Resistbelichtungsstrahlung, f rus. излучение для экспонирования резиста, n pranc. radiation pour l exposition de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
resist exposing radiation — rezisto eksponavimo spinduliuotė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist exposing radiation vok. Resistbelichtungsstrahlung, f rus. излучение для экспонирования резиста, n pranc. radiation pour l exposition de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
rezisto eksponavimo spinduliuotė — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist exposing radiation vok. Resistbelichtungsstrahlung, f rus. излучение для экспонирования резиста, n pranc. radiation pour l exposition de résist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия